>>>技术描述>>>

1. 粗糙度传感器

a. 量程：±40μm、±500μm；

b. 分辨率：0.0001μm/±40μm,0.00125μm/±500μm；

c. 测力：0.75mN（2μm针尖时）；

d. 传感器类型：差动电感；

2. 驱动部：

A. 直线度：0.3μm/50mm；

B. X方向量程：50mm；

C. 垂直向量程：50mm；

D. 评价长度：0.1mm～50mm；

E. 测量速度：

Ø 0.15/0.3/0.6/1.5/3/ mm/s (系列1)；

Ø 0.05/0.1/0.2/0.5/1 mm/s （系列2）；

3. 电源要求：

a. 电压：220V±10%；

b. 功率：80W；

c. 充电：内置电源，充电时间3小时，充满约可测量600次。