>>>技术描述>>>

1. 光源：白光LED；

2. 影像系统：1024×1024；

3. 干涉物镜：10×，（2.5×，5×， 20×，50×，100×）；

4. 光学ZOOM：0.5×（0.75×，1×）；

5. 标准视场：0.98×0.98㎜；

6. 最大视场：6×6㎜；

7. 物镜塔台：3孔手动（5孔电动可选）；

8. XY位移平台

a. 尺寸：320×200㎜；

b. 移动范围：140×100㎜；

c. 负载：10kg；

d. 控制方式：电动；

9. 水平调整：±5°；

10. Z轴聚焦

a. 行程：100㎜；

b. 控制方式：电动；

11. Z向扫描范围：10 ㎜；

12. 形貌重复性*1：0.1nm；

13. 粗糙度RMS重复性*2：0.005nm；

14. 台阶测量*3

a. 准确度：0.3%；

b. 重复性：0.08% 1σ；

15. 可测样品反射率：0.05%~100%；

16. 仪器主机重量：＜150㎏；

17. 主机尺寸（长×宽×高）：900×700×604㎜；

18. 环境条件

a. 工作温度：15℃~30℃，温度梯度＜2℃/60分钟；

b. 相对湿度：5%~95%RH，无凝露；

c. 环境振动：VC-C或更优；

d. 软件监控噪声：3σ≤4nm*4；；

e. 隔震气源：0.6Mpa稳压清洁气源，除油、除水，气管直径6㎜（可无）；

f. 电源：100-240VAC,50/60Hz,4A 功率300W；

g. 其他：无强磁场，无腐蚀气体。