>>>技术描述>>>

1.测量范围

a.X方向驱动器：120mm；

b.Z1粗糙度量程：±1500μm；

c.Z1分辨率：0.01微米；

d.Z轴高度（立柱）：400mm；

2.轮廓技术参数

a.线性精度：±（0.7+|0.12H|）μm；

b.直线度：0.5μm/100mm；

3.粗糙度技术参数

a.线性精度：≤±5%；

b.残值噪声：≤0.005μm；

c.重复稳定性：试值3%；

d.截止波长：0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm；

e.评定长度：λcX1、2、3、4、5；

4.传感器

a.类型：美国 ；

b.分辨率：0.01μm；

c.产地：美国 ；

5.爬坡角度：上升77度 下降88度；

6.粗糙度评定参数：Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2；

7.测量速度：0.05-20mm/s；

8.Z轴速度：0.05-20mm/s。