>>>技术描述>>>

1.测量范围：

a.X方向驱动器：130mm；

b.Z1轮廓度量程：20mm；

c.Z1粗糙度量程：±1500μm；

d.Z1分辨率：0.02微米；

e.Z轴高度（立柱）：550mm；

f.可测量最小内孔：10mm；

2.轮廓技术参数：

a.线性精度：±（0.7+|0.12H|）μm；

b.圆弧：±（1.2+R/12）μm；

c.角度：±1′；

d.直线度：0.5μm/100mm；

3.轮廓度技术参数：

a.线性精度：≤±5%；

b.残值噪声：≤0.005μm；

c.重复稳定性：试值3%；

d.截止波长：0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm；

e.评定长度：λcX1、2、3、4、5；

4.传感器：

a.类型：美国；

b.分辨率：0.02μm；

c.产地：美国； 

5.爬坡角度：上升77度 下降88度；

6.粗糙度评定参数：Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2；

7.测量速度：0.05-20mm/s；

8.Z轴速度：0.05-20mm/s。