金融界2025年5月2日消息,国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“籽晶层的制备方法、金属互连工艺方法及半导体工艺设备”的专利股票配资杠杆,公开号CN119890139A,申请日期为2023年10月。
专利摘要显示,本发明公开了一种籽晶层的制备方法、金属互连工艺方法及半导体工艺设备,该籽晶层的制备方法包括:在表面具有通孔和沟槽的衬底上沉积金属籽晶层,当通孔和沟槽的开口减小至金属离子无法进入通孔和沟槽内时,停止沉积金属籽晶层;对衬底表面进行氧化处理,使衬底表面上的金属籽晶层以及通孔和沟槽开口处的部分金属籽晶层转变为金属氧化物;将衬底置于能够溶解金属氧化物的溶液中,使衬底表面以及通孔和沟槽开口处的金属氧化物溶解,以打开通孔和沟槽的开口。本发明能够实现提高通孔和沟槽底部和侧壁的籽晶层覆盖率,避免在后续电镀金属过程中产生空洞。
天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目1028次,财产线索方面有商标信息61条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可340个。
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